Des mesures incitatives ont été mises en place depuis la loi de finances pour 2003 avec l’instauration du crédit d’impôt famille (CIF), accordé à hauteur de 25 % des dépenses engagées, dans la limite d’un plafond de 500 000 euros, aux entreprises qui proposent des moyens d’aides à la vie de famille de leurs salariés. L’article 96 de la loi de finances rectificative pour 2009 a porté le CIF à 50 %. Des difficultés étaient soulevées pour les très petites entreprises car aucun acompte ne pouvait être attribué par les services fiscaux au titre du crédit impôt famille, lequel est perçu au terme d’une année de fonctionnement. C’est pourquoi une aide au « démarrage », d’un montant de 3 300 €, peut être versée par la caisse d’allocation familiale (CAF) au gestionnaire de l’établissement lors du premier exercice de fonctionnement. Cette aide ne peut être attribuée que pour la création de nouvelles places d’accueil destinée aux salariés d’entreprises relevant du régime général, comptant moins de trente salariés et éligibles au crédit impôt famille. A ce jour, les CAF font état de 60 demandes d’aide au démarrage, représentant une dépense de 198 000 €. Enfin, lorsqu’elles bénéficient du CIF, les crèches de personnel peuvent aussi bénéficier de la prestation de service unique (PSU), dès lors qu’elles relèvent du régime général et qu’elles appliquent le barème des participations familiales. La Branche Famille a également contribué au développement des crèches d’entreprises, dans le cadre des conventions d’objectifs et de gestion signées avec l’Etat. Depuis la mise en œuvre en 2004 du dispositif d’aide à l’investissement petite enfance (DAIPE), 376 projets représentant la création de 10 845 places nouvelles destinées à des salariés d’entreprises publiques ou privées ont pu être crées. Dans le cadre du 7ème plan crèche, le plan crèche pluriannuel d'investissement (PCPI), chaque CAF doit réserver 20 % au minimum de son enveloppe pour financer la création de place de crèches de personnel, sans considération du statut juridique du gestionnaire. Les CAF ont aussi la possibilité de consacrer plus de fonds pour créer des « crèches de personnel » dans la limite des crédits disponibles. En 2007, le fonds d'abondement au plan d'aide à l'investissement pour la petite enfance (FAPAIPPE) permet aux petites et moyennes entreprises (PME) ainsi qu’aux petites et moyennes industries (PMI) de mandater des personnes morales de droit privé gestionnaires d’établissements pour signer un contrat enfance et jeunesse (CEJ) pour leur compte afin de maximiser l’ouverture de crèches d’entreprises. Le CEJ permet un financement de la CAF à hauteur de 55 %. De plus, une subvention prévue par contrat est versée chaque année. Au total, les trois derniers plans crèches ont permis le financement de 126 projets de crèches d’entreprises soit 4 766 places d’accueil : 1 208 places de crèches ont été financées grâce au DAIPE de 2004, 2 244 places supplémentaires ont été créées avec l’instauration du FAPAIPPE en 2007 et 1 314 places de crèches de personnel ont été ouvertes dans le cadre du PCPI. Dans le cadre de la convention d’objectifs et de gestion signée entre l’Etat et la CNAF pour la période 2009-2012 et du plan gouvernemental de 200 000 places de crèches  supplémentaires d’ici 2012, 1 536 places de crèches d’entreprises sont été créées en 2009 et 2 591 places en 2010.